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高精度程控匀胶机型号:SYSC-100A 产品应用 (Spin Coater),又称为旋转涂膜仪,是一代旋转涂膜设备。具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。
新型高精密匀胶机 主要性能指标: 主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁) 旋涂程序:Z多存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒 转动速度:0-5,000rpm(更高速可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm
新型匀胶机型号: SC/1B 技术指标及配置: 1. 用于Φ5至Φ100mm硅片及其它材料等匀胶 2. 采用变频器控制电机转速,可实现均匀调速。转速及其匀胶时间分别设置,可同时输入七组数值,即转速及匀胶时间可任意设置为Ⅰ档、Ⅱ档、……Ⅶ档,从而达到启动后先低速运转(Ⅰ档)