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详细介绍
新型内阻测试仪
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新型内阻测试仪产品参数: | ||||||||||||||||||||
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![]() | 产品名称:双组合四探针方阻/电阻率测试仪 双电测四探针测试仪 产品型号:KDB-3 |
双组合四探针方阻/电阻率测试仪 双电测四探针测试仪 型号:KDB-3
KDB-3双组合测试仪是根据标准SEMI MF1529设计,双组合测试方法使用四探针的方式不同于其他ASTM测量半导体电阻率或薄层电阻的方法。在本测试方法中,在测试样品的每个测量位置上,以两种不同的方式(配置)将探针连接到提供电流和测量电压的电路中。四探针的这种使用法通常被称为“双配置”或“配置切换”测量。单组合四探针相比,用较小间距的探针头就可以进行高精度的测量,从而可获得更高的晶片薄层电阻变化的空间分辨率。
仪器特点如下:
1、配有双数字表:一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全过程中的电流变化,使操作更简便,测量更精确。
数字电压表量程:0—199.99mV 灵敏度:10μV 输入阻抗:1000ΜΩ
基本误差±(0.04-0.05%读数+0.01%满度)
2、可测电阻率范围:10—4 —1.9×104Ω·cm。
可测方块电阻范围:10—3 —1.9×105Ω/□。
3、设有电压表自动复零功能,当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时,电压表指零,只有1、4探针接触到硅片,测量电流渡过单晶时,电压表才指示2、3探针间的电压(即电阻率)值;同样,当四探针头1、3探针间未有测量电流流过时,电压表指零,只有1、3探针接触到硅片,测量电流渡过单晶时,电压表才指示2、4探针间的电压(即电阻率)值,避免空间杂散电波对测量的干扰。
4、流经硅片的测量电流由高度稳定(万分之五精度)的特制恒流源提供,不受气候条件的影响,整机测量精度<3%。
电流量程分五档:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、仪器采用触点电阻更低(<5mΩ)、使用寿命更长的转换开头及继电器(>10万次),在缘电阻、电流容量方面留有更大的安全系数,提高了测试仪的可靠性和使用寿命。
6、可选配软件进行数据采集,可进行双组合或单组合测量,实现自动切换电压档位、读取相应电压值,根据不同方法计算电阻率或方块电阻值;软件可对测量数据进行分析,如平均值,大值、小值、大百分变化率、平均百分变化率、径向不均匀度等内容。
7、可配KDDJ-3电动测试架,自动上下运行,使测量更方便快捷。
8、四探针头采用上良好的红宝石轴套导向结构,使探针的游移率减小,测量重复性提高
台式高速常温离心机 型号:TD3-18K
产品特点:
◎体积适中,兼容性比较好,适合中小型多功能实验要求。
◎微机控制,变频电机驱动。
◎10种加减速可设。
◎多彩LED显示,操作简便,显示更为清晰、直观。
◎自动计算及设置离心力RCF值,转速离心力可以相互切换、同步显示。
◎采用电子门锁,设有速、不平衡等多种保护,增强安全性。
◎配备多种容量转子,适用不同实验需要。
技术参数:
型号 | TD3-18K | |||
转速 | 18500rpm | 离心腔直径 | φ320mm | |
相对离心力 | 23797×g | 整机噪声 | < 60dB(A) | |
容量 | 6×50ml | 外形尺寸( 长×宽×高) | 460×360×325mm | |
定时范围 | 1min~99min | 外包装尺寸( 长×宽×高) | 530×460×460mm | |
转速精度 | ±20r/min // | 净重 | 50kg | |
支持电源 | AC 220±22V 50Hz 10A | 毛重 | 55kg | |
总功率 | 450W | / | / | |
转子类型 | 序号 | 转子容量 | 转速/离心力 | |
角转子
| 1 | 16×1.5/2.2ml | 18500rpm/23797×g | |
2 | 18×0.5ml | 16000rpm/16000×g | ||
3 | 10×5ml | 15000rpm/15300×g | ||
4 | 24×1.5/2.2ml | 15000rpm/21890×g | ||
5 | 12×10ml | 13000rpm/17370×g | ||
6 | 6×50ml | 12000rpm/ 14550×g |
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