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SYSC-100A 高精度程控匀胶机 一. 产品应用 又称为旋转涂膜仪,是一代旋转涂膜设备。具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点
高精度程控匀胶机型号:SYSC-100A 产品应用 (Spin Coater),又称为旋转涂膜仪,是一代旋转涂膜设备。具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。
可控温型智能程控匀胶机(可控温型)型号:KW-4E 1.带进胶保护与报警 2.旋涂正反转可自由切换 3.带速度上升曲线实时显示 4.吸附不足报警与互锁 5.旋涂腔室整体采用PTFE材料防酸防碱防腐蚀 6.腔室带抽废气功能 7.配方带掉电保护功能
新型高精密匀胶机 主要性能指标: 主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁) 旋涂程序:Z多存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒 转动速度:0-5,000rpm(更高速可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm
型匀胶机 1、转速精度达到±0.1rpm,高转速稳定性; 2、可扩展到Z高转速高达15000rpm; 3、可扩展编辑和存贮到无限程序步骤; 4、数显真空压力传感器,真空值数字显示,压力开关值可设置; 5、数显水平度传感器,实时显示载物盘面的水平度,可通过底脚进行调节; 6、自带四个自动点胶端口,更多端口控制可升级。